山東力冠微電子裝備

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坩堝下降長晶爐

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坩堝下降長晶爐


本設(shè)備主要用于砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等化合物晶體生長。設(shè)備由機架、安瓿支撐機構(gòu)、加熱器和控制系統(tǒng)組成,能夠?qū)崿F(xiàn)安瓿移動和轉(zhuǎn)動的精確控制。

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