產(chǎn)品分類
ALD設(shè)備
所屬分類：
產(chǎn)品展示
半導(dǎo)體芯片設(shè)備
立式爐管設(shè)備
ALD設(shè)備
概要：
?適用領(lǐng)域：集成電路、先進(jìn)封裝 Relevant Industries: Integrated Circuits, Advanced Packaging ?適用材料：Si、SiC Suitable for Processing: Silicon (Si), Silicon Carbide (SiC) ?晶圓尺寸：12/8 英寸 Wafer Size: 12/8 inch ?適用工藝：Si3N4 、SiO2等膜層的沉積 Deposition of Si3N4, SiO2, and other film layers
關(guān)鍵詞：
臥式爐
ALD設(shè)備
產(chǎn)品應(yīng)用/Product Applications：
♦適用領(lǐng)域：集成電路、先進(jìn)封裝 Relevant Industries: Integrated Circuits, Advanced Packaging
♦適用材料：Si、SiC Suitable for Processing: Silicon (Si), Silicon Carbide (SiC)
♦晶圓尺寸：12/8 英寸 Wafer Size: 12/8 inch
♦適用工藝：Si3N4 、SiO2等膜層的沉積 Deposition of Si3N4, SiO2, and other film layers
技術(shù)指標(biāo)/Technical Indicators：
♦制程溫度范圍：100°C-350°C
♦批次片數(shù)：50-100片 50-100 pcs
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LPCVD設(shè)備
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