山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示

聯(lián)系方式

地址：濟(jì)南市槐蔭區(qū)濟(jì)南寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園

電話：15562450816

郵箱：liguan1218@163.com

ALD設(shè)備

?適用領(lǐng)域：集成電路、先進(jìn)封裝 Relevant Industries: Integrated Circuits, Advanced Packaging ?適用材料：Si、SiC Suitable for Processing: Silicon (Si), Silicon Carbide (SiC) ?晶圓尺寸：12/8 英寸 Wafer Size: 12/8 inch ?適用工藝：Si3N4 、SiO2等膜層的沉積 Deposition of Si3N4, SiO2, and other film layers

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